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佛山市佛欣真空技术有限公司
联系人:万先生 先生 (经理) |
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电 话:0757-86136159 |
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手 机:17725624310 |
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真空镀膜机 佛山PVD真空镀膜机 |
- 功能特性:
用于行业 钟表行业、3C行业、五金行业、精密模具业、工具行业等
用于产品 表壳表带、钻头、硬质合金、铣刀、冲棒标准件模具、成型模具等
镀膜效果 钛金、玫瑰金、香槟金、日本金、炫银、七彩、宝石兰、玫瑰红、黑色等
- 详细介绍:
FOXIN-PVD 多弧离子溅射镀膜机型号(直径1.2mm以内)
性能型号 PVD-0708 PVD-0809 PVD-0910 PVD-1012 PVD-1212 PVD-1215
真空室尺寸:mm Ф700×H800 Ф800×H900 Ф900×H1000 Ф1000×H1200 Ф1200×H1200 Ф1200×H1500
真空室结构 立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统 维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)
真空测量系统 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS)
电源类型 直流电源、中频电源、脉冲电源 (偏压电源、弧电源)
极限真空指标 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa
电弧源 6台-8台 6台-8台 8台-12台 8台-12台 10台-14台 10台-14台
200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A
偏压电源 20KW/1台 20KW/1台 20KW/1台 30KW/1台 30KW/1台 30KW/1台
磁控电源 1台-2台 1台-2台 2台-3台 2台-3台 2台-3台 2台-3台
工件转动方式 多轴行星式公自转、变频调速(可控可调)
工件烘烤温度 常温-300℃至450℃-600℃可控可调(PID温控)
工艺气体 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统
氩气、氮气、氧气、乙炔等
冷却方式 水冷却循环方式,另配工业冷却水塔或工业冷水机(制冷机)或深冷系统。(客户提供)
控制方式 PLC+触摸屏操作或计算机控制,手动、半自动、自动方式、
供给指标 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、
报警及保护 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。
整机总功率 25~65KW 45~85KW 65~105KW 85~115KW 95~125KW 100~130KW
输出频率 电压380V±5% ,频率50Hz(可根据客户国家用电标准配置)
设备占地面积 15~50m2 15~50m2 25~55m2 25~55m2 35~55m2 35~55m2
备注 可根据用户要求设计制造非标设备,可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。 |
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